El máser (o láser de microondas) primer dispositivo de este tipo, fue patentado el 24 de marzo de 1959 por Charles Townes y Arthur Schawlow, a pesar de que su empresa no le veía una aplicación clara a aquel invento. La idea para amplificar ondas de la misma frecuencia (longitud de onda) la plasmó Albert Einstein en dos artículos de Einstein de 1916. Sin embargo, su realización práctica, con todos los nuevos elementos teóricos y experimentales que ello conllevó, no llegó hasta la década de 1950.
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