En 2019, ASML finalmente envió el primer sistema EUV de alto volumen completando un largo camino que se extiende por varias décadas. El movimiento completó el cambio de la industria de litografía de semiconductores desde Asia hacia Europa. Fue una pérdida particularmente grande para los japoneses. Japón descubrió el EUV. Las empresas japonesas lideraron la industria de la litografía antes de que apareciera ASML, pero no pudieron lanzar EUV a tiempo.
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